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更新时间：2016-09-14
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食品厂净化工程装修 十万级净化车间 净化室恒温恒湿装修
湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。
半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
近年，在这些规定范围中保持处理空气过程，相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括：
1、细菌生长;
2、工作人员感到室温舒适的范围;
3、出现静电荷;
4、金属腐蚀;
5、水汽冷凝;
6、光刻的退化;
7、吸水性。
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